новости компании о Насколько чисто необходимо производство электронных чипов?

В процессе производства электронных чипов требования к чистоте в различных областях производства различны,в основном на основе стандарта ISO 14644-1 и потребностей в точности производственного процесса для определенияВот конкретные требования:

1. Область производства пластин

Литографическая зона:Наиболее высокие требования чистоты, как правило, ISO 1-3, должны контролировать частицы размером 0,1 мкм и выше.крошечные частицы могут вызывать дефекты в фотолитографии, что влияет на производительность чипа.
Площади гравирования и осаждения:высокие требования чистоты, как правило, ISO 3-5, необходимо контролировать частицы размером 0,3 мкм и выше.

2. Опаковать испытательную зону

Площадь упаковки:Требования средней чистоты, как правило, ISO 5-7, должны контролировать частицы размером 0,5 мкм и выше.
Площадь испытания:Требования к чистоте низкие, обычно ISO 7-8, необходимо контролировать частицы размером 0,5 мкм и выше.

3Помощная зона

Площадь хранения химических веществ:Требования к чистоте низкие, обычно ISO 7-8.
Площадь технического обслуживания оборудования:минимальные требования к чистоте, как правило, на уровне ISO 8.

4- Доступ к персоналу и материалам

Одевальные комнаты и воздушные душевые:Требования к чистоте средние, обычно ISO 5-7.
Площадь доступа к материалам:требования к чистоте низкие, обычно на уровне ISO 7-8.
Меры по поддержанию чистоты
Система очистки воздуха:Оснащен высокоэффективным фильтром (HEPA) и сверхвысокоэффективным фильтром (ULPA) для обеспечения чистоты воздуха.
Организация воздушного потока:Вертикальный однонаправленный поток обычно используется в регионе литографии, а не однонаправленный поток может использоваться в других регионах.
Контроль температуры и влажности:Температура обычно контролируется при 22 °C ±2 °C, а влажность контролируется при 45%-65% RH.
Контроль положительного давленияРазличие положительного давления между чистой зоной и нечистой зоной должно составлять 5-10 Pa.

Подводя итог, требования к чистоте при производстве электронных микросхем различаются в зависимости от процесса и региона, области литографии и гравировки имеют высокие требования к чистоте,в то время как упаковка и испытательные площади относительно низкиеЭти строгие стандарты чистоты являются ключом к обеспечению качества производства чипов.