Влияние стандартов чистоты на качество микросхем в основном отражается в следующих аспектах:
Во время процесса производства микросхем, мелкие частицы (такие как пыль и примеси) могут вызвать такие проблемы, как дефекты литографических рисунков, короткое замыкание или открытое замыкание,которые серьезно влияют на производительность и надежность чипаВ условиях высокой чистоты, таких как ISO 1-3, можно эффективно контролировать частицы размером 0,1 микрона и выше, обеспечивая точность ключевых процессов, таких как литография, гравировка и осаждение.
Такие параметры, как температура и влажность, скорость воздуха и контроль разницы давления в чистом помещении, имеют решающее значение для стабильности производства чипов.Точный контроль окружающей среды может уменьшить колебания процессов и повысить эффективность производства и урожайность.
Сохраняя положительную или отрицательную разницу давления между различными чистыми зонами,Чистая комната может эффективно предотвратить заполнение воздуха в районах с низкой чистотой и избежать перекрестного загрязненияЭто особенно важно для высокоточного производства чипов.
Статическое электричество является распространенной проблемой в производстве микросхем и может привести к повреждению или ухудшению производительности микросхем.Чистая комната защищает качество чипа, уменьшая генерацию и накопление статического электричества через антистатическую конструкцию (например, антистатический пол, рабочая одежда и т.д.).
Хотя высокие стандарты чистоты увеличат затраты на строительство и эксплуатацию, они могут принести больше экономических выгод для предприятий за счет сокращения загрязнения,повышение урожайности и эффективности производства.
Различные области производства микросхем (такие как литография, гравировка, упаковка) имеют разные требования к чистоте.Разумный выбор и контроль уровня чистоты (например, ISO 1-3 в области литографии и ISO 5-7 в области упаковки) может удовлетворить потребности различных процессов и обеспечить качество чипа.
Таким образом, стандарт чистоты является ключевым фактором для обеспечения качества продукции, повышения эффективности производства и снижения производственных затрат в производстве микросхем.
Контактное лицо: Mrs. Zhao
Телефон: 86 20 13378693703
Факс: 86-20-31213735