новости компании о Каковы характеристики модульных чистых помещений на заводах по производству полупроводников?

Модульные чистые помещения спроектированы по принципу "строительных блоков", что позволяет полупроводниковым заводам адаптировать планировку пространства в соответствии с конкретными технологическими требованиями.

Например, зоны для фотолитографии, травления и упаковки могут быть сконфигурированы с различными уровнями чистоты (от ISO 1 до ISO 9) независимо друг от друга.

Эта гибкость устраняет необходимость в масштабной реконструкции при модернизации производственных линий, значительно сокращая время простоя.

Модульные панели, обычно изготовленные из алюминиевого сплава или оцинкованной стали, могут быстро собираться и разбираться, что позволяет быстро расширять или корректировать площади чистых помещений по мере изменения масштабов производства.

Каждый модульный блок чистого помещения оснащен интегрированными системами герметизации, включая уплотненные соединения и контроль перепада давления, для предотвращения перекрестного загрязнения между зонами.

Системы ОВКВ также модульные, с выделенными блоками обработки воздуха (БОУ) для каждого раздела, обеспечивающими точный контроль температуры (±0,5°C), влажности (±2%) и количества частиц.

Высокоэффективные воздушные фильтры (HEPA) или фильтры сверхнизкой проникающей способности (ULPA) встроены в потолочные и стеновые панели, обеспечивая однонаправленный ламинарный поток воздуха, который минимизирует накопление частиц на пластинах.

Кроме того, модульные чистые помещения оснащены интегрированными системами дренажа пола и управления отходами, содержащими опасные материалы в определенных зонах, чтобы избежать распространения загрязнителей.